測試模塊布局

測試模塊應當放置在用聚焦層定位模塊所確定的聚焦層位置處，其測試器件部分(如放大率一致性

模塊的中心平面、低對比度分辨率測試模塊的帶孔表面)應當與定位模塊投影中心對齊，方向應與定位

模塊一致，

 B.1聚焦層定位模塊

由5個傾斜放置的鋼珠如圖B1所示鑲嵌在長方體PMMA模塊中，內部鋼珠直徑為5mm;內部鋼珠水平方向偏移量分別為-10mm、-5mm、0mm、5mm10mm，鋼珠球心的垂直方向間距為

10 mm。

單位為毫米